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ms196明仕亚洲娱乐号:200810086700
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本发明提供一种ms196明仕亚洲官网手机版_ms196明仕亚洲娱乐,明仕亚洲手机版下载,该装置可防止温度下降,并将所希望温度的热气体更恰当地供给到框体内。基板热处理装置(1A)具有环绕加热板(16)的框体(10)和热空气供给机构,该热空气供给机构具有设置在框体内的喷出喷嘴(20),并沿着框体(10)的内部上面供给热空气的同时,通过设置在框体(10)的侧壁(13)上的排气口(22)对该热空气进行排气。热空气供给机构具有供给配管(30)和内部配管(31),该供给配管(30)具备加热器(32),该内部配管(31)通过框体(10)的侧壁(13)等的内部,将被加热的热空气供给到所述喷出喷嘴(20)中。

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一种基板热处理装置,该基板热处理装置包括:框体,该框体的内底部设置有对基板施行热处理的基台;热气体供给机构,该热气体供给机构从外部将热气体供给到所述框体内,以便沿着该框体的顶棚壁形成热气体流,其特征在于,    所述热气体供给机构具有:加热机构,该加热机构对气体进行加热从而生成所述热气体;供给流路,该供给流路将由所述加热机构加热过的所述热气体供给到框体内部,    且所述供给流路的至少一部分设置在所述框体的隔壁内部。
 


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ms196明仕亚洲娱乐号: 200810086700
申请日: 2008年3月26日
公开/公告日: 2008年10月1日
授权公告日:
申请人/ms196明仕亚洲娱乐权人: 大日本网目版制造株式会社
国家/省市: 日本(JP)
邮编:
发明/设计人: 中根慎悟
代理人: 马少东 徐恕
ms196明仕亚洲娱乐代理机构: 隆天国际ms196明仕亚洲娱乐商标代理有限公司(72003)
ms196明仕亚洲娱乐代理机构地址: 香港干诺道中168-200号信德中心西翼15楼1512室()
ms196明仕亚洲娱乐类型: 发明
公开号: 101276735
公告日:
授权日:
公告号: 000000000
优先权: 日本2007年3月29日2007-088577日本2007年3月30日2007-091774日本2007年3月30日2007-091773
审批历史:
附图数: 9
页数: 20
权利要求项数: 3
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